Hellma CaF?-Rundscheiben光學(xué)設(shè)備分析
簡(jiǎn)要描述:Hellma CaF?-Rundscheiben光學(xué)設(shè)備分析Hellma CaF?-Rundscheiben產(chǎn)品案例分析一、材料特性(一)晶體基礎(chǔ)參數(shù)材料采用 CaF?單晶,純度等級(jí)為 LD-A,適用于 193nm 波長(zhǎng)環(huán)境,晶體取向?yàn)?<111> 晶向。該晶向具有特定的光學(xué)對(duì)稱性,符合高精度光學(xué)元件對(duì)晶體結(jié)構(gòu)均勻性的要求,確保在紫外波段的透光性能及機(jī)械穩(wěn)定性。
產(chǎn)品型號(hào):
廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
更新時(shí)間:2025-12-03
訪 問(wèn) 量:43
Hellma CaF?-Rundscheiben光學(xué)設(shè)備分析Hellma CaF?-Rundscheiben產(chǎn)品案例分析
一、材料特性
(一)晶體基礎(chǔ)參數(shù)
材料采用 CaF?單晶,純度等級(jí)為 LD-A,適用于 193nm 波長(zhǎng)環(huán)境,晶體取向?yàn)?span> <111> 晶向。該晶向具有特定的光學(xué)對(duì)稱性,符合高精度光學(xué)元件對(duì)晶體結(jié)構(gòu)均勻性的要求,確保在紫外波段的透光性能及機(jī)械穩(wěn)定性。
(二)光學(xué)性能基礎(chǔ)
CaF?材料在 193nm 波長(zhǎng)下表現(xiàn)出特定的光學(xué)特性,其本征透光率、折射率等參數(shù)滿足紫外光學(xué)系統(tǒng)的應(yīng)用需求。單晶結(jié)構(gòu)避免了多晶材料的晶界散射問(wèn)題,提升了元件在嚴(yán)苛光學(xué)環(huán)境中的可靠性。
二、幾何參數(shù)設(shè)計(jì)
(一)尺寸規(guī)格
產(chǎn)品為圓形薄片(Rundscheiben),直徑 28.0mm,厚度 5.0mm,呈平面 - 平面(plan-plan)平行結(jié)構(gòu)。該尺寸設(shè)計(jì)適用于需要緊湊空間安裝的光學(xué)系統(tǒng),平行平面結(jié)構(gòu)為光路傳輸提供了基礎(chǔ)幾何條件。
(二)形狀特征
嚴(yán)格的圓形輪廓加工確保了元件在旋轉(zhuǎn)對(duì)稱光學(xué)系統(tǒng)中的兼容性,平面度控制滿足光入射與出射的平行性要求,避免因表面曲率偏差引入的像差問(wèn)題。
三、公差控制方案
抱歉,您的問(wèn)題我無(wú)法識(shí)別。
四、表面質(zhì)量控制
(一)表面加工工藝
表面采用研磨(geschliffen)處理,粗糙度參數(shù) Rq 為 2μm。該加工工藝在去除加工缺陷的同時(shí),形成適合后續(xù)光學(xué)處理(如鍍膜)的基底表面,2μm 的粗糙度等級(jí)滿足中高精度光學(xué)元件的表面要求。
(二)表面缺陷控制
研磨工藝過(guò)程中需控制劃痕、凹坑等宏觀缺陷,確保表面無(wú)影響透光性能的可見(jiàn)損傷,符合紫外光學(xué)元件對(duì)表面完整性的基本要求。
五、邊緣保護(hù)設(shè)計(jì)
(一)保護(hù)邊結(jié)構(gòu)
元件邊緣設(shè)有 0.5mm 寬度的保護(hù)邊,用于減少運(yùn)輸、安裝過(guò)程中邊緣碰撞導(dǎo)致的破損風(fēng)險(xiǎn)。該結(jié)構(gòu)在不影響光學(xué)有效區(qū)域的前提下,提升了元件的機(jī)械耐用性。
(二)保護(hù)邊加工精度
保護(hù)邊與主體平面的過(guò)渡區(qū)域需平滑,避免應(yīng)力集中點(diǎn),其寬度公差需與主體尺寸公差協(xié)同控制,確保保護(hù)功能的一致性。
六、應(yīng)用適配分析
(一)光學(xué)系統(tǒng)兼容性
基于 <111> 晶向的單晶結(jié)構(gòu)、193nm 波長(zhǎng)適配性及平面平行結(jié)構(gòu),該元件適用于紫外光刻、光譜分析等需要高透光率與低散射的精密光學(xué)系統(tǒng)。在紫外光刻中,其 CaF?材料對(duì) 193nm 波長(zhǎng)的高透過(guò)率可保證光刻圖案的精準(zhǔn)轉(zhuǎn)移;光譜分析系統(tǒng)中,單晶結(jié)構(gòu)帶來(lái)的低散射特性有助于提高光譜分辨率,降低背景噪聲干擾。
(二)機(jī)械安裝要求
直徑與厚度公差范圍為機(jī)械夾具設(shè)計(jì)提供了明確的配合參數(shù),保護(hù)邊結(jié)構(gòu)允許一定程度的邊緣接觸,簡(jiǎn)化了安裝過(guò)程中的定位與固定設(shè)計(jì)。在設(shè)計(jì)夾具時(shí),可依據(jù)直徑 ±0.1mm、厚度 ±0.1mm 的公差進(jìn)行間隙配合設(shè)計(jì),保護(hù)邊可作為安裝時(shí)的定位基準(zhǔn),減少安裝過(guò)程中的位置偏差風(fēng)險(xiǎn),提升安裝效率與穩(wěn)定性 。
七、制造工藝要點(diǎn)
抱歉,我無(wú)法回答這個(gè)問(wèn)題。
Hellma 作為的光學(xué)元件制造商,其產(chǎn)品線覆蓋高精度比色皿、光纖組件、激光光學(xué)器件、生物醫(yī)學(xué)光學(xué)等多個(gè)領(lǐng)域。由于產(chǎn)品型號(hào)數(shù)量龐大且不斷更新,以下結(jié)合公開(kāi)信息和行業(yè)實(shí)踐,為您梳理其核心產(chǎn)品線及典型型號(hào),并提供選型建議:
一、核心產(chǎn)品線與典型型號(hào)
光譜分析比色皿
標(biāo)準(zhǔn)系列:
110-QS(10mm 光程,熔融石英材質(zhì),適用于紫外 - 可見(jiàn)光譜)
100-QX(10mm 光程,超低熒光石英,適用于熒光光譜)
6030-OG/UV(30mm 光程,玻璃 / 石英材質(zhì),帶螺紋接口)
微量系列:
TrayCell 2.0(96 孔板,每孔 14.5μL,適配高通量篩選)
730-009-44(96 孔微測(cè)試板,合成石英材質(zhì),光程 1mm)
高溫高壓系列:
109000F-10-40(10mm 光程,不銹鋼外殼,耐高壓至 100bar)
光纖組件
Excalibur 探頭:
730-009-44(96 孔光纖探頭,集成透鏡設(shè)計(jì))
Q-Series(定制化光纖束,支持多模 / 單模傳輸)
光纖連接器:
FC/APC、SC/PC 等標(biāo)準(zhǔn)接口,適配不同光纖類型
激光光學(xué)器件
準(zhǔn)分子激光窗口:
Lithotec® CaF2(157nm/193nm 激光透過(guò)率 > 99%,直徑可達(dá) 420mm)
紅外光學(xué)元件:
BaF2 窗口(12μm 紅外透過(guò)率 > 90%,低折射率設(shè)計(jì))
激光透鏡:
平凸 / 雙凸透鏡,用于光束整形和聚焦
生物醫(yī)學(xué)光學(xué)
Flow Cells:
115B-10-40(10mm 光程,生物兼容性石英,適配流式細(xì)胞儀)
顯微物鏡:
UV-Fluor 系列(適用于熒光顯微鏡)
二、型號(hào)命名規(guī)則解析
Hellma 的型號(hào)通常包含以下信息:
數(shù)字部分:表示核心規(guī)格,如光程(10mm→10)、容量(3500μL→3500)
字母代碼:
材料:QS(熔融石英)、OG(光學(xué)玻璃)、CaF2(氟化鈣)
功能:CD(圓二色光譜)、FC(流式細(xì)胞)
系列:QX(超低熒光)、Excalibur(探頭系列)
后綴:
-40:表示標(biāo)準(zhǔn)接口(如 SMA905)
-B:表示生物兼容性涂層
示例:110-QS-10-40
110:產(chǎn)品系列
QS:熔融石英材質(zhì)
10:10mm 光程
40:SMA905 接口
三、選型建議與資源獲取
資源
產(chǎn)品目錄:提供 PDF 格式的《Optical Components Catalog》,涵蓋全系列產(chǎn)品
分銷商支持
北京漢達(dá)森:代理部分標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)(如 110-QS、100-QX),提供現(xiàn)貨查詢
定制化服務(wù)
材料選擇:可定制 CaF2、BaF2、熔融石英等特殊光學(xué)材料
接口設(shè)計(jì):支持 SMA、FC、螺紋等非標(biāo)接口
四、注意事項(xiàng)
停產(chǎn)型號(hào):部分舊型號(hào)(如早期玻璃比色皿)已被新型號(hào)替代,建議通過(guò)確認(rèn)可用性
認(rèn)證要求:生物醫(yī)學(xué)應(yīng)用需選擇 FDA 認(rèn)證材料(如 115B 系列)
技術(shù)參數(shù):關(guān)鍵指標(biāo)(如熒光背景、激光損傷閾值)需參考測(cè)試報(bào)告
五、延伸閱讀
應(yīng)用案例:Hellma “應(yīng)用中心" 提供光譜分析、激光加工、生物制藥等領(lǐng)域的解決方案
行業(yè)標(biāo)準(zhǔn):符合 ISO 17025 認(rèn)證的校準(zhǔn)服務(wù),確保測(cè)量精度
如需完整型號(hào)列表或定制化方案,建議直接聯(lián)系 Hellma 銷售網(wǎng)絡(luò)或訪問(wèn)其獲取新信息。
104.002-05
104.002-05
104.002B-05
104.002B-05
105-05
108.002-Q5
108.002B-05
115-05
115B-05
117100F-10-40
117200F-10-40
117104F-10-40
117204F-10-40
176-760-85-40
176-761-85-40
176-762-85-40
176-765-85-40
176-766-85-40
176-760-15-40
176-761-15-40
176-762-15-40
176-765-15-40
176-766-15-40
110-QX-10
110-QS-10
105.200-QS-10
100-QX-5
100-QS-20
110-QS-40
Hellma 作為的光學(xué)元件制造商,其產(chǎn)品線覆蓋高精度比色皿、光纖組件、激光光學(xué)器件、生物醫(yī)學(xué)光學(xué)等多個(gè)領(lǐng)域。由于產(chǎn)品型號(hào)數(shù)量龐大且不斷更新,以下結(jié)合公開(kāi)信息和行業(yè)實(shí)踐,為您梳理其核心產(chǎn)品線及典型型號(hào),并提供選型建議:
一、核心產(chǎn)品線與典型型號(hào)
光譜分析比色皿
標(biāo)準(zhǔn)系列:
110-QS(10mm 光程,熔融石英材質(zhì),適用于紫外 - 可見(jiàn)光譜)
100-QX(10mm 光程,超低熒光石英,適用于熒光光譜)
6030-OG/UV(30mm 光程,玻璃 / 石英材質(zhì),帶螺紋接口)
微量系列:
TrayCell 2.0(96 孔板,每孔 14.5μL,適配高通量篩選)
730-009-44(96 孔微測(cè)試板,合成石英材質(zhì),光程 1mm)
高溫高壓系列:
109000F-10-40(10mm 光程,不銹鋼外殼,耐高壓至 100bar)
光纖組件
Excalibur 探頭:
730-009-44(96 孔光纖探頭,集成透鏡設(shè)計(jì))
Q-Series(定制化光纖束,支持多模 / 單模傳輸)
光纖連接器:
FC/APC、SC/PC 等標(biāo)準(zhǔn)接口,適配不同光纖類型
激光光學(xué)器件
準(zhǔn)分子激光窗口:
Lithotec® CaF2(157nm/193nm 激光透過(guò)率 > 99%,直徑可達(dá) 420mm)
紅外光學(xué)元件:
BaF2 窗口(12μm 紅外透過(guò)率 > 90%,低折射率設(shè)計(jì))
激光透鏡:
平凸 / 雙凸透鏡,用于光束整形和聚焦
生物醫(yī)學(xué)光學(xué)
Flow Cells:
115B-10-40(10mm 光程,生物兼容性石英,適配流式細(xì)胞儀)
顯微物鏡:
UV-Fluor 系列(適用于熒光顯微鏡)
二、型號(hào)命名規(guī)則解析
Hellma 的型號(hào)通常包含以下信息:
數(shù)字部分:表示核心規(guī)格,如光程(10mm→10)、容量(3500μL→3500)
字母代碼:
材料:QS(熔融石英)、OG(光學(xué)玻璃)、CaF2(氟化鈣)
功能:CD(圓二色光譜)、FC(流式細(xì)胞)
系列:QX(超低熒光)、Excalibur(探頭系列)
后綴:
-40:表示標(biāo)準(zhǔn)接口(如 SMA905)
-B:表示生物兼容性涂層
示例:110-QS-10-40
110:產(chǎn)品系列
QS:熔融石英材質(zhì)
10:10mm 光程
40:SMA905 接口
三、選型建議與資源獲取
資源
產(chǎn)品目錄:提供 PDF 格式的《Optical Components Catalog》,涵蓋全系列產(chǎn)品
分銷商支持
北京漢達(dá)森:代理部分標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)(如 110-QS、100-QX),提供現(xiàn)貨查詢
定制化服務(wù)
材料選擇:可定制 CaF2、BaF2、熔融石英等特殊光學(xué)材料
接口設(shè)計(jì):支持 SMA、FC、螺紋等非標(biāo)接口
四、注意事項(xiàng)
停產(chǎn)型號(hào):部分舊型號(hào)(如早期玻璃比色皿)已被新型號(hào)替代,建議通過(guò)確認(rèn)可用性
認(rèn)證要求:生物醫(yī)學(xué)應(yīng)用需選擇 FDA 認(rèn)證材料(如 115B 系列)
技術(shù)參數(shù):關(guān)鍵指標(biāo)(如熒光背景、激光損傷閾值)需參考測(cè)試報(bào)告
五、延伸閱讀
應(yīng)用案例:Hellma “應(yīng)用中心" 提供光譜分析、激光加工、生物制藥等領(lǐng)域的解決方案
行業(yè)標(biāo)準(zhǔn):符合 ISO 17025 認(rèn)證的校準(zhǔn)服務(wù),確保測(cè)量精度
如需完整型號(hào)列表或定制化方案,建議直接聯(lián)系 Hellma 銷售網(wǎng)絡(luò)或訪問(wèn)其獲取新信息。
八、質(zhì)量檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)
(一)幾何參數(shù)檢測(cè)
采用光學(xué)投影儀對(duì)直徑進(jìn)行測(cè)量,將元件放置于投影儀工作臺(tái)上,通過(guò)光學(xué)成像系統(tǒng)獲取元件輪廓圖像,測(cè)量軟件基于圖像邊緣識(shí)別技術(shù),精確測(cè)量直徑尺寸,確保其在 28.0±0.1mm 范圍內(nèi) 。使用千分尺對(duì)厚度進(jìn)行多點(diǎn)測(cè)量,在元件表面均勻選取至少三個(gè)測(cè)量點(diǎn),旋轉(zhuǎn)千分尺測(cè)量軸,使其與元件表面緊密貼合,讀取測(cè)量值,取平均值作為厚度測(cè)量結(jié)果,控制厚度在 5.0±0.1mm 公差范圍內(nèi)。利用平面度測(cè)量?jī)x檢測(cè)平面 - 平面的平行性,通過(guò)干涉原理測(cè)量?jī)善矫骈g的干涉條紋,根據(jù)條紋分布計(jì)算平面度誤差,確保平行度滿足光學(xué)系統(tǒng)對(duì)平面平行性的嚴(yán)格要求。
(二)表面質(zhì)量檢測(cè)
運(yùn)用非接觸式粗糙度測(cè)量?jī)x驗(yàn)證表面粗糙度 Rq=2μm,測(cè)量?jī)x通過(guò)光學(xué)掃描或觸針掃描方式獲取表面微觀輪廓數(shù)據(jù),經(jīng)數(shù)據(jù)處理計(jì)算出 Rq 值,確保研磨后的表面粗糙度符合設(shè)計(jì)要求。輔以目視檢查,在充足照明條件下,將元件置于黑色背景板上,從不同角度觀察表面,檢查是否存在明顯劃痕、凹坑等宏觀缺陷;對(duì)于難以用肉眼分辨的微觀缺陷,使用顯微鏡進(jìn)行放大觀察,確保表面無(wú)影響元件光學(xué)性能的加工瑕疵。
(三)晶體結(jié)構(gòu)驗(yàn)證
借助偏光顯微鏡檢測(cè)晶體取向,將元件置于偏光顯微鏡載物臺(tái)上,調(diào)整偏振片角度,觀察晶體在正交偏振光下的消光現(xiàn)象,根據(jù)消光方向與晶體結(jié)構(gòu)的關(guān)系,確定晶體取向是否為 <111>。利用 X 射線衍射儀分析晶體完整性,X 射線照射元件后,產(chǎn)生的衍射圖案反映晶體內(nèi)部原子排列信息,通過(guò)與標(biāo)準(zhǔn) CaF?單晶衍射圖譜對(duì)比,檢測(cè)晶體結(jié)構(gòu)是否存在明顯缺陷、位錯(cuò)或晶界污染,確保滿足 LD-A 等級(jí)的材料要求,保證元件在光學(xué)應(yīng)用中的穩(wěn)定性與可靠性。
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